氮化铝陶瓷发热体 - 氮化铝发热体 - 广东精瓷新材料有限公司

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氮化铝发热体

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氮化铝陶瓷发热体

主要特点

氮化铝是一种多功能材料，最常用于需要高导热性和电绝缘性的场景。这种独特的能力，使AIN成为快速加热、散热的理想选择。如氮化铝陶瓷发热体（heater）、氮化铝陶瓷晶圆托盘/吸盘等。

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四大优势

热导率

热导率为氧化铝陶瓷的10倍，热导率接近金属铝；
升温速度快:室温25℃在6秒内达到600℃；
温度均一性好:温差±5℃以内。

强度

强度:抗弯强度310-350 MPA；
硬度:HRA 89；
体积电阻率: >10¹³Ω.cm。

稳定性

稳定性:氮化铝陶瓷的熔点为2450℃，在2000℃以内的高温非氧化气氛中稳定性好。

介电常数

优良的介电常数和低的介质损耗。

应用场景

Main Application

尺寸：Ø5, Ø9×34, Ø50 mm（可定制)

半导体静电卡盘，蚀刻，化学气相沉积，抛光；
医疗加热，雾化；
其他应用用于其他要求升温速度快，温度均一性好的场景。

Material Parameters

材料参数

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陶瓷种类 Ceramic Types	密度 Density (g/cm³)	抗弯强度 Bending Strength (Mpa)	断裂韧性 Fracture Toughness (Mpa.m^1/2)	干烧功率密度 Dry Burning Power Density (W/cm²)	热震性 Thermal Shock Resistance（℃）	膨胀系数 Coefficient of Expansion (10^-6/°C)	热导率 Thermal Conductivity (W/m.k)	使用温度 Operation Temperature (℃)
氮化铝 Aluminum Nitride	3.2-3.4	310-500	3.5~4.5	96 (负载可达160）	500	4-5	170-260 （Theory 320）	1200
氮化硅 Silicon Nitride	3.0-3.4	600-1000	4-7	25	400-800	2.6-3.9	20-25	1400
95氧化铝 95 Alumina	3.7-3.8	280-300	3-4	10	220	6-8	18-35	1100

陶瓷种类
Ceramic Types

密度
Density
(g/cm³)

抗弯强度
Bending
Strength (Mpa)

断裂韧性
Fracture
Toughness
(Mpa.m^1/2)

干烧功率密度
Dry Burning
Power
Density (W/cm²)

热震性
Thermal Shock
Resistance（℃）

膨胀系数
Coefficient of
Expansion
(10^-6/°C)

热导率
Thermal
Conductivity
(W/m.k)

使用温度
Operation
Temperature (℃)

氮化铝
Aluminum Nitride

3.2-3.4

310-500

3.5~4.5

(负载可达160）

500

4-5

170-260
（Theory 320）

1200

氮化硅
Silicon Nitride

3.0-3.4

600-1000

4-7

400-800

2.6-3.9

20-25

1400

95氧化铝
95 Alumina

3.7-3.8

280-300

3-4

220

6-8

18-35

1100

Performance Parameters

性能参数

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项目ltem
室温抗折强度 Room Temperature Flexural Strength	≥320 Mpa
体积密度 Bulk Density	3.20-3.4 g/cm³
室温相对介电常数Room Temperature	8.8-8.9
热膨涨系数 Coefficient of Thermal Expansion	4.5x10^-6/℃
干烧功率密度 Dry Burning Power Density	96 W/cm²
室温断裂韧性 Room Temperature Fracture Toughness	4.5 Mpa.m^1/2
室温体积电阻率 Room Temperature Volume Resistivity	>10¹³Ω.cm
热导率 Thermal Conductivity	170-260 W/ (m-k)
硬度 Hardness	HRA 89
负载功率密度 Load Power Density	160 W/cm²