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陶瓷真空吸盘
陶瓷真空吸盘
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划片吸盘
主要特点

陶瓷真空吸盘主要由微孔陶瓷和框架组成,也可以称为多孔陶瓷卡盘。

四大优势:

  • 平面度、平行度高
  •  组织致密均匀、强度高
  • 透气性强:微孔尺寸:5-200μm,气孔率:30%-50%
  • 吸附力均匀:10*10mm区域内压差±3Kpa (可调配)

资料手册下载

Product Introduction

产品介绍

Main Appliction

应用场景

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  • 划片机、减薄机

  • 激光打孔、精密印刷

  • 气浮平台、晶圆检测

Structure

结构

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Performance Parameters

性能参数

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项目ltem  

尺寸 Size

4 inches

6 inches

8 inches

12 inches

平整度 Flatness

3 μm

3 μm

5 μm

5 μm or 10 μm

多孔陶瓷颜色 Color of Porous Ceramics

White, black, brown白、黑、棕

多孔陶瓷材料 Material of Porous Ceramics

Aluminum oxide and silicon carbide氧化铝、碳化硅

多孔陶瓷孔径 Pore Size of Porous Ceramics

5-200 μm

孔隙率 Porosity of Porous Ceramics

30%-50%

底座材料 Base Material

Stainless steel, aluminum alloy, ceramic不锈钢、铝合金、陶瓷

防静电功能 Antistatic Function

Optional 可选

抗折强度 Flexural Strength

55-70 MPa

体积电阻率 Volume Resistivity

4.5*107-9 Ω.cm

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