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库仑型
库仑型
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静电卡盘ESC 库仑型
静电卡盘ESC 库仑型
静电卡盘ESC 库仑型
主要特点

四大优势:

  • 加工一致性高;
  • 抗等离子侵蚀性强;
  • 机械强度高;
  • 可定制化。

资料手册下载

Product Introduction

产品介绍

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  • 等离子刻蚀设备ETCH

  • 离子注入设备IMP

  • 物理气相沉积设备PVD

  • 化学气相沉积设备CVD

Structure

结构

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产品特点

CHARACTERISTIC

  • 通过内置吸附电极将产品固定于静电卡盘,以满足加工需要;
  • 通过内置加热器控制产品温度,多温区组合控温,保证加工一致性;
  • 使用高纯度原料实现低颗粒污染,抗等离子体侵蚀性强;
  • 高精度形状加工,优异的机械强度

Material Parameters

材料参数

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项目ltem Unit Alumina (Al2O3)

产品型号 Product Model

/

AO960

AO995

AO920

外观 Color

/

White

lvory

Black

密度 Bulk Density

g/cm

3.7

3.9

3.6

吸水率 Water Absorption

%

0

0

0

维氏硬度 Vickers Hardness HV1 (Load=9.807N)

(GPa)

13.7

16.0

12.7

弯曲强度 Flexural Strength (3PB) R.T.

MPa

350

360

320

弹性模量Young's Modulus of Elasticity

GPa

320

370

320

泊松比 Poisson's Ratio

/

0.23

0.23

0.23

断裂韧性 Fracture Toughness (SEPB)

MPam

/

4

/

线膨胀系数

Coefficient of Linear Thermal Expansion

40℃~400℃

x10-6/℃

7.2

7.2

7.3

40℃~800℃

7.9

8.0

8.1

热导率Thermal Conductivity 20℃

W/(m.K)

24

32

12

比热容 Specific Heat Capacity

J/(g.k)

0.78

0.78

0.75

热冲击温度 Heat Shock Temperature

200

250

/

击穿强度 Dielectric Strength

KV/mm

15

15

12

体积电阻 Volume Resistivity

20℃

Ω.cm

>1014

>1014

>1011

300℃

>1010

>1013

>107

500℃

>108

>1010

>105

介电常数 Dielectric Constant(1MHz)

/

9.4

9.9

9.8

介电损耗 Dielectric Loss Angle(1MH2)

x10-4

4

1

20

硝酸 Nitric Acid(60%) 90℃, 24H

WT Loss mg/cm2

/

0.07

/

硫酸 Sulphuric Acid(95%) 95°C, 24H

/

0.23

/

烧碱 Caustic Soda(30%) 80°C,24H

/

0.05

/

尺寸: 200、300 mm(可定制)

Size: 200,300 mm (Customizable)

项目ltem Unit Aluminum Nitride (AlN)

产品型号 Product Model

/

AN160

AN80

外观 Color

/

Gray

Ivory

密度 Bulk Density

g/cm

3.3

3.2

吸水率 Water Absorption

%

0

0

维氏硬度 Vickers Hardness HV1 (Load=9.807N)

(GPa)

10.4

11.2

弯曲强度 Flexural Strength (3PB) R.T.

MPa

310

220

弹性模量 Young's Modulus of Elasticity

GPa

320

310

泊松比 Poisson's Ratio

/

0.24

0.24

线膨胀系数

Coefficient of Linear Thermal Expansion

40℃~400℃

x10-6/℃

4.6

4.6

40℃~800℃

x10-6/℃

5.3

5.3

热导率 Thermal Conductivity 20℃

W/(m.K)

150

70

比热容 Specific Heat Capacity

J/(g.k)

0.71

0.72

击穿强度 Dielectric Strength

KV/mm

14

16

 

体积电阻Volume Resistivity

 

20℃

 

Ω.cm

 

>1014

>1014

300℃

>1010 >1010

500℃

>108 >109

介电常数 Dielectric Constant(1MHz)

/

8.6

8.5

介电损耗 Dielectric Loss Angle(1MH2)

x10-4

3

2

Electrical Parameters

电气参数

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项目ltem  

工作电压 Operating Voltage Ranges

±0.5-8.0KV Max HV/DC

最大电流 Max. Current

5 mA DC max

体积电阻 Volume Resistivity

Coulombs: ≥ 1x1014, Johnsen-Rahbek:5x1011

电容 Capacitance

≧12.5 nF

电极类型 Electrode Pattern

单极型 Unipolar /双极型Bipolar Electrode

漏电流 Leak Current @ATM

< 5 nA (At±500V)

释放时间 Release Time

≤1Second