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广东精瓷即将参加CSEAC 2024, 诚邀您光临!
时间:2024.07.23 字号

半导体设备与核心部件展示会(CSEAC)是我国半导体行业专注“设备与核心部件”领域的展示会,集企业展示、权威发布、论坛交流于一体,秉“高水平、专业化、产业化” 的宗旨。CSEA2023在无锡成功举办,吸引了 6.3 万人次观众进场。CSEA为半导体设备/部件企业展示新产品、新成果、新发展景象提供平台, 帮助企业更有效地获取行业信息、交流市场机遇、谋求合作与发展。

 

 

12 届半导体设备与核心部件展示会(以下简称“CSEAC 2024”)将在无锡太湖国际博览会于2024年9月25日-27日举行,届时广东精瓷新材材料有限公司也将前往参展,其展位号为9平标摊C1-121,诚挚邀请阁下光临我司展台,一起交流探讨,合作共赢!

 

 

 

广东精瓷有限公司脱胎于东莞国研精密半导体事业部,具有多年的HTCC研发及生产经验,专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、陶瓷真空吸盘以及氮化铝发热体。

 

  • 静电卡盘Electrostatic Chuck(ESC)

 

静电卡盘是一种利用静电吸附替代传统机械夹持、真空吸附的优势技术,一般由陶瓷层、吸附电极、加热器、粘结层和金属基座组成,具有加工一致性高、机械强度高、抗等离子侵蚀性强、可定制化的特点。根据材料的不同,其可分为库仑型和J-R型两种。

 

 

  • 陶瓷真空吸盘Ceramic Vacuum Chuck

 

陶瓷真空吸盘是利用真空吸附原理固定工件的承载平台,其结构一般为多孔陶瓷加底座,具有平面度平行度高、组织致密均匀、强度高、透气性强、吸附力均匀等特点。根据不同用途,可分为减薄吸盘、清洗吸盘、切割吸盘、划片吸盘等。

 

 

  • 氮化铝陶瓷发热体 AlN Ceramic Heater

 

氮化铝陶瓷发热体由于其材料氮化铝是一种多功能材料,具有高热导性、电绝缘性的独特能力,使得由其作为材料做成的发热体热导率接近金属铝,并且具有升温速度快、温度均一性好、稳定性佳、介电常数和介质损耗优良等特点。