广东精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研发及生产经验,专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。其设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心,具有氧化铝、氮化铝材质的库仑型、J-R型静电卡盘ESC的生产研发能力。同时,广东精瓷在陶瓷真空吸盘上也有效解决了行业内掉粉、掉颗粒和吸附力不均匀等痛点,为半导体设备、半导体芯片制造提供关键部件的安全供应。
广东精瓷新材料有限公司具备年产2000套8寸、12寸氧化铝&氮化铝静电卡盘,20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘的生产能力。其主要产品如下:
1.静电卡盘ESC
(1) 库仑型静电卡盘
▲ 12寸氧化铝静电卡盘
▲ 12寸复合型静电卡盘
(2)J-R型静电卡盘
2、陶瓷真空吸盘
3、氮化铝陶瓷发热体
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