静电卡盘
精瓷材料，提供氧化铝、氮化铝材质的库仑力型、JR型静电卡盘ESC；泛半导体用碳化硅、氧化铝真空吸盘以及氮化铝发热体，为半导体设备、半导体芯片制造提供关键部件的安全供应。
广东精瓷新材料有限公司成立于2021年，具有多年HTCC研发及生产经验，专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。
公司具备年产2000套12寸& 8寸氧化铝&氮化铝静电卡盘，20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘的生产能力，并设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心。
2024-07
作者：广东精瓷 来源：广东精瓷
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